管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在很多行業(yè)產(chǎn)業(yè)得到廣泛應(yīng)用，目前主要采用熱力學(xué)，恒溫差、恒功率和溫度自動(dòng)補(bǔ)使的原理，根據(jù)熱敏電阻精性、工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)技水指標(biāo)要求、電子元悉件功能和模擬電子電路功能而設(shè)計(jì)。經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)閱系統(tǒng)標(biāo)定，通過A/D模/數(shù)轉(zhuǎn)換，送單片機(jī)(uc)進(jìn)行瞬時(shí)數(shù)顯和累計(jì)數(shù)顯及非線性校正運(yùn)算，實(shí)現(xiàn)氣體質(zhì)量流速流量的數(shù)字智能化的測(cè)控。
 

　　管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝步驟如下：
 

　　(1)取出流量計(jì)后檢查其外表，確定無(wú)損傷；
 

　　(2)連接并清潔管道；
 

　　(3)將流量計(jì)安裝到管道上，并注意如下事項(xiàng)：①為了保證流量計(jì)的計(jì)量準(zhǔn)確性，安裝時(shí)要先連接流量計(jì)的上游端，上游直管段應(yīng)滿足l0DN的要求，下游直管段應(yīng)滿足5DN的要求；②流量計(jì)安裝時(shí)不能有任何密封物質(zhì)滲入管道內(nèi)；
 

　　(4)連接電源電纜線，需要注意接線時(shí)的極性，確保輸入的直流電壓在(8~24)VDC；
 

　　(5)如需要連接信號(hào)線，應(yīng)保障信號(hào)線與相應(yīng)用戶界面端連接無(wú)誤；
 

　　(6)接通電源，液晶屏顯示正確與否；
 

　　(7)開啟管道上下游的閥門，流量計(jì)開始計(jì)量管道中的氣體流量。
 

　　管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)都采用的是容積式的計(jì)量。但是，因?yàn)椴荒軠y(cè)量與環(huán)境溫度和壓力相關(guān)的氣體容積的變化，體積流量在溫度或壓力變動(dòng)的情況下往往不能滿足測(cè)量的要求。MEMS流量傳感器直接計(jì)量氣體質(zhì)量流量，其計(jì)量數(shù)據(jù)總是對(duì)應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(I01.325kPa，20℃)的體積，通常表達(dá)SLPM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)，氣體質(zhì)量流量實(shí)際是自動(dòng)換算成體積流量。